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氮化镓外延片工艺流程介绍 外延片与晶圆的区别

时间:2023-06-19 11:26来源:未知 作者:admin 点击:
氮化镓 作为第三代 半导体 材料,具有耐高温、兼容性高、热导率高、宽带隙等优势,在我国应用较为成熟。按照衬底材料不同,氮化镓外延片又可分为氮化镓基氮化镓、碳化硅基氮化

  氮化镓作为第三代半导体材料,具有耐高温、兼容性高、热导率高、宽带隙等优势,在我国应用较为成熟。按照衬底材料不同,氮化镓外延片又可分为氮化镓基氮化镓、碳化硅基氮化镓、蓝宝石基氮化镓以及硅基氮化镓四类。硅基氮化镓外延片生产成本低且生产技术较为成熟,为目前应用最广泛的产品。

  氮化镓外延片主要用于制造电子元件,如晶体管集成电路光电子器件等。它可以提高电子元件的性能,提高元件的可靠性,并延长元件的使用寿命。

  氮化镓外延片工艺流程介绍

  氮化镓外延片工艺是一种用于制备氮化镓外延片的工艺,主要包括表面清洗、氮化处理、清洗处理、干燥处理和检测处理等步骤。其中,表面清洗是为了消除表面污染,并在表面形成氧化层;氮化处理是将外延片放入氮化炉中,在高温下进行氮化处理,使外延片表面形成氮化层;清洗处理是将外延片从氮化炉中取出,用清洗液进行清洗,以去除氮化层上的污染物;干燥处理是将清洗后的外延片放入烘箱中,进行干燥处理,以去除清洗液中的水分;检测处理是将外延片放入检测仪器中,进行检测,以确保外延片质量符合要求。

  氮化镓外延片工艺流程主要包括以下几个步骤:

  1. 准备工作:清洗外延片表面,消除表面污染,并在表面形成氧化层;

  2. 氮化处理:将外延片放入氮化炉中,在高温下进行氮化处理,使外延片表面形成氮化层;

  3. 清洗处理:将外延片从氮化炉中取出,用清洗液进行清洗,以去除氮化层上的污染物;

  4. 干燥处理:将清洗后的外延片放入烘箱中,进行干燥处理,以去除清洗液中的水分;

  5. 检测处理:将外延片放入检测仪器中,进行检测,以确保外延片质量符合要求。

  外延片与晶圆的区别

  区别是半成品和成品的区别。 外延片就是在衬底上做好外延层的硅片,外延是半导体工艺当中的一种,硅片最底层是P型衬底硅(有的加点埋层)然后在衬底上生长一层单晶硅,这层单晶硅称为外延层再后来在外延层上注入基区、发射区等等。而晶圆片通常说经过光刻、蚀刻等工序形成的。所以外延片属于半成品,而晶圆属于成品。

  外延片和晶圆的主要区别在于:

  1.外延片是一种半导体材料,而晶圆是一种半导体器件;

  2.外延片是用来制造电子元件的原材料,而晶圆是用来安装电子元件的基板;

  3.外延片的尺寸小于晶圆,晶圆的尺寸大于外延片;

  4.外延片的表面经过特殊处理,而晶圆的表面没有经过特殊处理。

  根据相关数据整理,截至第三季度,氮化镓相关企业营收排名前十依次是:欣旺达、闻泰科技、领益智造、楚江新材、深康佳A、利欧股份、北方华创、有研新材、兆驰股份、安克创新。

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