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中科微感MEMS气体传感器量产技术再次突破瓶颈，良品率接近98%

来源:网络  发布者:电工基础  发布时间:2026-03-20 13:56

中科微感金属氧化物基MEMS气体传感器量产技术再次突破瓶颈。以CM-A107S氢气传感器为例，晶圆级万颗批量生产，单颗LGA封装的MEMS氢气传感器初始阻值和响应值一致性偏差逼近5%，良品率接近98%。本量产技术的突破，为人工智能嗅觉传感器的普遍应用推广打下坚实基础，为未来气味数字化应用提供了标准化和低成本的硬件解决方案。

随机抽取70颗CM-A107S氢气传感器（LGA封装），进行空气中每颗阻值和500 ppm氢气响应值测试统计，结果如下图所示。

中科微感MEMS气体传感器量产技术再次突破瓶颈，良品率接近98%

中科微感MEMS气体传感器量产技术再次突破瓶颈，良品率接近98%



审核编辑：刘清

相关热词：#LGA封装 #MEMS技术 #气体传感器

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