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多晶硅材料的制备

来源:网络  发布者:电工基础  发布时间:2026-03-22 13:44

当熔融的单质硅凝固时,硅原子以金刚石晶格排列成许多晶核,如果这些晶核长成晶面取向相同的晶粒,则形成单晶硅。如果这些晶核长成晶面取向不同的晶粒,则形成多晶硅。
 
1)碳还原法
在电弧中,利用纯度在99%以上的石英砂和焦炭或木炭在2000℃左右进行还原反应,可生成多晶硅。

多晶硅材料的制备

2)三氯氢硅氢还原法

多晶硅材料的制备


3)硅烷热分解法      

多晶硅材料的制备


4)四氯化硅氢还原法