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非晶硅的制备

来源:网络  发布者:电工基础  发布时间:2026-03-22 13:44

1)等离子化学气相沉积法
       该法主要是采用H2稀释的硅烷气体的热分解,硅烷分解生成硅原子,
沉积在衬底材料上形成非晶硅薄膜。

太阳能电池的制备

硅片切割-- 去除损伤层--制绒-扩散-刻蚀
-PECVD沉积减反射层 -丝网印刷上下电极
-烧结形成金属接触-分类检测-包装

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