中微晶园成功研发基于Cavity-SOI的MEMS绝压压力传感器系列化产品

近日，中微晶园成功研发出基于Cavity-SOI工艺的MEMS绝压压力传感器产品，可应用于高度计、无人机、充气泵、汽车胎压监测等领域。该系列化产品采用了先进的Cavity-SOI工艺，结合了MEMS技术的创新设计与精湛工艺，具有高精度、高可靠、低功耗、稳定性强、抗干扰能力强、工作温度范围广泛、芯片尺寸微型化等突出特点。这标志着中微晶园在MEMS技术领域又一次获得了重大突破，填补了公司高端压力传感器的空白，拓展了公司高精度、高可靠产品的种类，提升了公司压力传感器产品的市场竞争力，为未来的MEMS压力传感器产品系列化发展打下坚实基础。

团队目前正在进行绝压产品压力量程系列化拓展，预计6月底前完成100~2000kPa绝压压力量程产品全覆盖及量产化，产品应用领域涵盖汽车工业、工业自动化、医疗设备等。中微晶园定当不负众望，披荆斩棘，致力于技术创新和产品优化，为客户提供更多高性能、高可靠性的MEMS传感器产品。

审核编辑：刘清