传感器-压阻传感

传感器-压阻传感   

压阻式传感器是用集成电路工艺技术，在硅片上制造出四个等值的薄膜电阻，并组成电桥电路。当不受力作用时，电桥处于平衡状态，无电压输出；当受到力作用时，电桥失去平衡，输出与应力成正比的电压。压阻式传感器的工作原理与传统的半导体应变式传感器的工作原理一样，都是基于半导体材料的压阻效应。

压阻系数
半导体电阻的相对变化近似等于电阻率的相对变化，而电阻率的相对变化与应力成正比，二者的比例系数定义为

固态压阻式传感器压阻系数。由下式可得：
              
传感器
影响压阻系数的因素
影响压阻系数的因素主要是扩散电阻的表面杂质浓度和温度。

固态压阻器件
利用固体扩散技术，将P型杂质扩散到一片N型硅底层上，形成一层极薄的导电P型层，
装上引线接点后，即形成扩散型半导体应变片。若在圆形硅膜片上扩散出四个P型电阻，构成惠斯登电桥的四个臂，这样的敏感器件通常称为固态压阻器件。

测量电路
压阻式传感器的输出信号一般较小，需要用电路进行放大。