|
被美国要求限制对华出售半导体设备后，ASML进退两难。 此前据DigiTimes报道，ASML正在考虑发布其深紫外光刻（DUV）设备的特殊版本，该设备将符合最新的美国出口规则，并且可以在没有许可证的情况下出售给中国大陆客户。该设备将使中芯国际和华虹等公司能够在28nm节点上制造芯片，但不允许他们使用更先进的制程节点。 7 月 6 日午后，ASML 辟谣称：一直以来 ASML 都遵守所适用的法律条例，公司并没有面向中国市场推出特别版的光刻机。 有问题的光刻设备是Twinscan NXT：1980Di，目前这是台积电仍在使用的最先进的浸入式扫描仪。该机器具有1.35数值孔径光学组件，能够实现<38 nm的分辨率，这对于7nm甚至更高级的节点来说已经足够了。事实上，这款扫描仪最初于2016年发布，台积电曾使用它来开发其7nm制程工艺技术。 从理论上讲，削减该设备并提高其最低支持分辨率以防止中芯国际和其它中国大陆芯片制造商创造28nm以下的工艺技术是可能的。中芯国际的大部分收入来自超过28nm的制程节点，中国大陆公司可能仍然有兴趣采购此类工具。 最新的出口法规要求美国公司和个人获得出口设备和技术的许可证，这些设备和技术能够制造14nm/ 16nm节点上的非平面晶体管逻辑芯片，3层或更多层的128DNAND闪存，以及18nm半间距或更小的DRAM存储芯片。同样的规则也适用于从美国出口组件的非美国公司，ASML及其Twinscan NXT：1980Di就是这种情况。 荷兰最新的出口规则要求ASML获得出口许可证才能向中国大陆公司出售其Twinscan NXT：2000i扫描仪。ASML尚未正式创建限量版Twinscan NXT，但如果出口法规继续限制向中国大陆销售先进技术，此举似乎很有可能。 受限制的DUV有哪些？ 6月30日，荷兰政府颁布关于半导体设备出口管制的最新条例，部分媒体将此理解为针对中国的光刻机管制再次升级至所有DUV，实际上这些新的出口管制条例针对对象为先进的45nm及以下芯片制造技术，包括最先进的ALD原子沉积设备、外延生长设备、等离子体沉积设备和浸润式光刻系统，以及用于使用和开发这类先进设备的技术、软件。 ASML表示，荷兰政府新颁布的出口管制条例只涉及部分最新DUV型号，包括 TWINSCAN NXT:2000i 及后续推出的浸润式光刻系统。EUV光刻机在此前已经受到限制，其它系统的发运未受荷兰政府管控。根据ASML官网信息，DUV浸润式光刻系统，包含：TWINSCAN NXT:2050i、NXT:2050i、NXT:1980Di 三种光刻机，这些能够进行38nm~45nm制程的晶圆加工。 此外，能够进行45nm以上晶圆加工，如65nm~220nm制程的干式DUV光刻机如：TWINSCAN XT:400L、XT:1460K、NXT:870等，均不在荷兰制裁清单内。 荷兰外贸和发展合作部部长颁布的MinBuza.2023.15246-27 号条例规定，对此前第2021/821 号条例附件一中未提及的半导体先进生产设备的出口实行许可要求（有关先进半导体制造设备） 第二条：本条例规定，未经部长许可，禁止从荷兰出口先进的半导体生产设备。 第三条： 1、第二条所述的许可申请，应由出口商提出并向检察官提交。 2、在任何情况下，申请均应包含： a出口商名称和地址 b先进半导体制造设备的收货人和最终用户名称和地址 c先进半导体制造设备的接受者和最终用户名称和地址 3、在任何情况下，检察官都有权要求出口商提供有关出口的合同，和有关最终使用用途的声明。 第四条： 第二条所述的许可证，可以附加条件和规定 第二条所述许可的授予，可以存在限定条件。 第五条： 第二条中提到的许可证，可以在以下情况下被撤销： a许可证是根据不正确或不完整信息颁发的； b未遵循许可证的规定、条件和限制； c出于国家外交和安全政策的考虑。 中国回应 6月30日，对于ASML出台的对华半导体设备销售新规，中国外交部发言人毛宁在例行记者会上表示，中方坚决反对美方泛化国家安全概念，滥用出口管制，以各种借口拉拢胁迫其他国家对华搞科技封锁，以行政手段干预企业之间的正常经贸往来，严重破坏市场规则和国际经贸秩序，冲击全球产供链的稳定，不符合任何一方的利益。中方将密切关注有关动向，坚决维护自身的合法权益。 不止于此，今年1月31日，针对ASML停止向中国大陆企业销售EUV光刻机一事，毛宁就表示，1月30日，秦刚外长同荷兰副首相兼外交大臣胡克斯特拉通电话，就双边关系等问题深入交换了意见。秦刚外长指出，开放务实是中荷关系的最大特色，双方要共同维护国际产业链供应链稳定，维护开放而非分裂、有序而非混乱的国际贸易环境。 胡克斯特拉副首相兼外交大臣表示，荷方愿推动两国开放务实的全面合作伙伴关系不断发展，将继续以负责任的方式处理对华经贸事宜。 “我想再次强调的是，个别国家出于一己私利，不惜损友自肥，恶意封锁和打压中国企业，人为推动产业转移脱钩，有关霸凌霸道行径严重破坏市场规则和国际经贸秩序，不仅损害中国企业的合法权益，也冲击全球产供应链的稳定。”毛宁说，我们希望各方秉持客观公正立场，从自身长远利益和公平公正市场原则出发，独立自主地作出决定。 |