90nm 更早的工艺,通常都只有两个RC Corner: Cworst = Cmax, Rmin;
Cbest =Cmin, Rmax 电容电阻特性分别占主导。
90nm后更新的工艺,考虑到互连线coupling的影响,出现了RCworst, RCbest corner. RCbest(也被称为XTALK Corner)= Cc max(此时耦合电容最大),Cg x R min RCworst(也被称为Delay Corner)= Cg x R max(此时RC的乘积最大), Cc min Cc是耦合电容,Cg是对地电容
因此加起来就有4个RC Corner,
Cbest, Cworst, RCbest,
C-best:
•它具有最小的电容,所以也被称为Cmin Corner;
•互连电阻大于Typical Corner;
•此Corner导致那些nets都非常短的路径的延迟非常小,可用于hold分析。
C-worst:
•具有最大的电容,所以也被称为Cmax Corner;
•互连电阻小于Typical Corner;
•此Corner导致那些nets都非常短的路径的延迟非常大,可用于setup分析。
RC-best:
•指最小化互连RC乘积的Corner,所以也被称为RC-min Corner; •通常对应于较小的蚀刻,这增加了Trace(实际走线)的宽度。这导致最小的电阻,但其电容值要大于Typical Corner; •对于具有长互连的路径,该Corner具有最小的路径延迟,可用于hold分析。
RC-worst:
•指最大化互连RC乘积的Corner,所以也称为RC-max Corner;
•通常对应于较大的蚀刻,这会减少Trace(实际走线)的宽度,这导致最大的电阻,但其电容值要小于Typical Corner;
•对于具有长互连的路径,该Corner具有最大的路径延迟,可用于setup分析。
Typical:
•典型值,这是指互连电阻和电容的标称值。
总结: 所以你可能已经注意到有两种类型的寄生:一种是基于C的,另一种是基于RC的。 在基于C的里面,C意味着最差和最佳情况的电容C;
但在基于RC的里面,RC意味着最差和最佳情况的电阻R,同时调整C为最差或最佳。
根据经验,发现基于C的提取比基于RC的提取为内部时序路径提供了更差和最好的情况,因为电容主导了短线。
然而,对于大型设计,由于R在长导线中占优势,因此Block之间的时序路径(inter-block timing path通常)最差,RC寄生效应最差。
注意:没有Corner能保证任意晶体管驱动任意导线拓扑的最小或最大延迟 借助下面的图片,很容易理解该内容:

在先进工艺的下,会引入Double Pattern,考虑到不同Mask之间的misalign,因此会增加额外的CCworst和CCbest Corner。引入Double Pattern之后的Corner如下:

它们之间的RC关系如下:

审核编辑:刘清
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