| 变极距电容传感器的初始电容Co可由下式表达，即
式中：ε——真空介电常数（8.85×10-12F/m） A——极板面积（m2） do——极板间距初始距离（m） 传感器的这种变化关系呈非线性，如图3所示。 当极板初始距离由do减少⊿d时，则电容量相应增加⊿C，即 |
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电容相对变化量⊿C/Co为
由于
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此时产生的相对非线性误差γo为
这种处理的结果，使得传感器的相对非线性误差增大，如图4所式。 |
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为改善这种情况，可采用差动变极距式电容传感器，这种传感器的结构，如图5所示。它有三个极板，其中两个固定不动，只有中间极板可产生移动。当中间活动极板处于平衡位置时，即d1=d2=do，则C1=C2=Co，如果活动极板向右移动⊿d,则d1=do-⊿d,d2=do+⊿d,采用上述相同的近似线性处理方法，可得传感器电容总的相对变化，为 (责任编辑：admin) |
